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      OHT天車與AMR搬運機器人協作應用

      發布時間: 2021-12-03 04:12:13 來源:捷螺系統

      核心提示: 捷螺系統專攻半導體晶圓搬運機器人,配合FAB廠OHT協作,即空中OHT搭配地面AMR,更加全面實現全廠物料自動搬運, 綜合性價比也相對較高。

      晶圓廠是使用自動化材料處理系統(AMHS)的自動化工廠。廣泛使用高架式芯片運輸車(OHT)系統將8/12" wafer box (open cassette/FOUP)從一組設備運送到另一組。

      AMHS的搬送一般分為Interbay和Intrabay,OHS負責Interbay,作為工序區間搬送系統;而OHT+AMR 負責Intrabay,目前不僅應用于工序區內部運輸,也應用于工序區間或工廠間運輸。

      要實現全廠OHT覆蓋,AMHS系統的成本會非常高,(簡單估算下來,一條8英寸的AMHS大概在10M$,而12英寸的AMHS大概在30M$左右。)在當前中國大陸的FAB廠中,使用OHT的FAB廠屈指可數。這也對廠內IE規劃也是個極大的考驗。

      為此,捷螺系統專攻半導體晶圓搬運機器人,配合FAB廠OHT協作,即空中OHT搭配地面AMR,更加全面實現全廠物料自動搬運, 綜合性價比也相對較高。目前,Gyrobot已與多家OHT廠家(Muratec、Mirle等),實現FAB車間對接協作,為半導體工廠自動化生產提升更高效率。

      OHT天車負責空中軌道高速傳輸作業,地面上由AMR來實現高彈性效率作業,實現由STOCKER、OHT、AMR、EQ間 無死角無盲區對接 ,真正實現FAB車間無人化自動生產。

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